微纳加工技术

微纳加工广泛应用于物理、化学、材料、电子、机械、生物等各种学科。本课程的目的是使学生掌握各种微纳加工的基本原理，为未来的研究打下很好的器件制备基础。
本课程的特点是制作较多的动画，让同学理解工艺过程不再是一件难事。同时本课程将会针对各个工艺过程中的设备进行拍摄和介绍，让同学结合设备视频和课堂讲授，深度掌握加工工艺，以后给导师制备一个新型器件不再是难事。
本课程将会讲授氧化，低压化学气相沉积，等离子加强化学气相沉积，热蒸发，外延，电子束蒸发，3D打印，离子扩散，接触式光刻，电子束光刻，湿法刻蚀，干法刻蚀等各种工艺手段；同时也会介绍介绍常用的工艺检测方法和MEMS加工技术、集成电路工艺集成技术和工艺技术的发展趋势等问题。通过本课程的学习，学生不仅可以掌握器件制造的基本工艺和原理，同时也可以了解到当前工业界以及研究领域最新的工艺趋势。